日立集团正在推进Lumada 3.0战略，提供将来自数字化资产的数据与领域知识及先进AI相结合的数字服务。通过SU9600作为获取和生成数据的数字化资产，日立高新正在实现体现Lumada 3.0的数字服务"HMAX for Industry"，旨在为客户提供更大的价值。将聚焦 “综合工业自动化”，推动 “工业用 HMAX” 向半导体等增长型产业横向拓展，为一线工作者的创新提供支持。

日立总代理 新一代扫描电镜旗舰SU9600上市:超高分辨率×高通量×自动化

SU9600 开发背景

扫描电子显微镜（SEM）被广泛应用于半导体器件、电子和先进材料等领域。在需要高精度观察微观结构的场合，从研发到生产现场的工艺控制，它们已成为不可或缺的工具。特别是近年来，半导体市场中AI驱动的需求激增，缩短了产品开发周期，同时由于器件特征尺寸不断缩小，对更快创新和精确尺寸控制的要求，使得市场对利用 SEM 进行高精度、高通量分析的需求日益增长。为此，业界对利用扫描电镜通过大规模数据分析为研发和制造流程提供反馈的期望正在上升。